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  • 专利项目:一种MEMS压阻式加速度计 专利号: 2013207327335
  • 专利权人:大连理工大学 参考价格:
  • 毕业院校: 专业:
  • 学历: 工作单位:
  • 职务:
  • 共同持有人姓名: 所属领域:新一代信息技术
  • 专利目前所处阶段: 已投入开发资金额:
  • 专利法律状态: 是否鉴定:
  • 鉴定机构: 鉴定日期:
  • 专利类型:发明专利
  • 技术简介:本实用新型公开了一种MEMS压阻式加速度计,包括:衬底、边框、弹性梁以及通过弹性梁支悬于边框中心位置的主质量块、支质量块、上封帽、多组压敏电阻;所述边框固定于衬底上端;所述支质量块设置于弹性梁上,且与弹性梁构成异形弹性梁结构;所述弹性梁的中间部位以及弹性梁与框架连接处设有多组压敏电阻;所述主质量块与弹性梁的厚度相等;所述上封帽固定于框架上端面,其内部有凹槽结构,主质量块在凹槽内部悬空,且在感测各方向的惯性力时自由运动。本实用新型采用多根弹性梁单主质量块的结构,通过一个主质量块感受不同方向的惯性力时异形弹性梁的不同位置应力的变化,有效减小了器件体积,同时具有灵敏度高、固有频率高、抗高过载能力强等优点。
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